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应用材料公司推出下一代电子束检测设备 具有业内的分辨率
来源:与非网 时间:2016-07-13

新的PROVision™系统是能精确到1纳米分辨率的电子束检测工具,对于小于等于10纳米的多次图型光刻、鳍式场效应晶体管(FinFET)制造、DRAM以及3D NAND器件的研发、进入量产和生产工艺控制尤为关键

·检测速度提高3倍,适用于大部分挑战性的电子束检测应用

·迅速获得市场认可,已发货十余台,包括重复订单;应用材料公司的研发团队拥有20多年的电子束技术引领经验,已发货2,200余台电子束测量和检测系统

应用材料公司今天宣布其下一代电子束检测系统已在多家的晶圆代工厂,以及逻辑芯片、DRAM和3D NAND工厂得到广泛应用。随着客户逐渐转向更先进的技术节点,这款新一代电子束检测系统能够为其提供的分辨率和图像质量,同时保持快的检测速度。

应用材料公司新的 PROVision™系统是目前业界先进的电子束检测工具,结合了应用材料公司在电子束复查和测量领域长达20多年的经验和创新成果。作为的电子束热点检测工具,该系统提供精确到1纳米的分辨率,使客户能够准确检测出其他技术无法识别的“致命”缺陷,同时监测工艺窗口边缘情况,从而迅速解决进入产量的问题,显著提高良率。

“PROVision系统是我们先进电子束检测技术产品目录中的又一新产品,同时也是应用材料公司发展战略中的一个重要组成部分。”应用材料公司副总裁兼成像和工艺测控部门总经理Bob Perlmutter表示:“我们与众不同的电子束技术在行业中处于地位,通过结合客户的检测方法,使PROVision系统不仅可以应用于研发阶段,而且还可以使用于实际生产环境中。”

目前,PROVision系统已获得良好的市场反响,已发货十余台,其中包括来自一家的代工厂商和一家主要的存储器制造商的重复订单。2016年下半年预计还将有多台设备销售给现有客户和新客户。

“PROVision 系统结合了高分辨率和大规模采样的优势,有助于缩短解决问题的时间和更先进技术节点的产品上市时间。”SK hynix 集团研发部EBI小组的负责人Oh-Jang Kwon博士表示。

与现有的电子束热点检测工具相比,PROVision系统可使检测速度提高3倍,确保在整个产品生产周期中对影响性能和良率的缺陷进行准确的表征、预判和识别,从而进一步充实了应用材料公司现有的电子束复查、量测产品线和光学的带图型的晶片检测产品线。


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