MEMS力拼10自由度，运动传感器成为大热门

引言：传感器融合将为高精度运动检测在手机、导航系统、游戏机等便携电子设备内的应用创造更多新机会，空中鼠标、智能遥控器、LBS等都是未来十分看好的应用。就在各种6自由度、9自由度器件不断问世之际，10自由度MEMS产品也已悄然问世。

伴随着MEMS传感器“融合”的诞生，以iPhone和iPad为代表的消费电子产品的运动感知能力正在发生根本性改变。“智能手机与平板是驱动今年增长的关键力量，这些产品中很多已经具有3轴加速计、3轴陀螺仪、麦克风、立体声波滤波器等标准MEMS器件。”意法半导体(ST)模拟、MEMS和传感器部门应用经理Paolo Bendiscioli对电子工程专辑记者表示。

来自IHS公司的消费与移动MEMS市场研究报告显示，2011年消费与移动MEMS营业收入将有望达到22.5亿美元，取得迄今以来的增长率37%。而2010年创下的增长率则是27%，营业收入达到了16.4亿美元。该公司预测说，2015年全球MEMS营业收入将比2010年增长近两倍，达到45.4亿美元，2010-2015年的复合年度增长率约为22.5%。

要想在消费电子市场取得成功，厂商就必须通过规模经济取胜，并且能够提供广泛的解决方案。ST称，他们预见到了MEMS在消费类电子、医疗保健，工业和汽车市场强劲的需求态势，因此大幅度提高了其MEMS产能。目前，ST MEMS传感器的产能已达300万/天，且是世界上家制造基于8英寸晶圆工艺MEMS器件制造商。

力拼10自由度

传感器融合一直是MEMS产业的热议话题，而新兴的移动消费电子应用，如位置相关服务(LBS)、室内及多楼层盲区导航功能等，也需要复杂程度更高的感应功能。ST大中华及南亚区模拟与微电机系统部市场部经理吴卫东认为，传感器融合将为高精度运动检测在手机、导航系统、游戏机及众多的便携电子设备内的应用创造更多新机会，空中鼠标、智能遥控器、LBS等都是ST未来十分看好的应用。

就在各种6自由度、9自由度器件不断问世之际，10自由度MEMS产品也已悄然问世。ST近日就推出了10自由度(DoF)传感器应用整体解决方案，包括三轴地磁模块LSM303DLHC(包含三轴线性运动和三轴地磁运动传感器)、三轴数字陀螺仪L3G4200D和压力传感器。从而使消费电子产品具备立即获得线性加速度、角速率、地球引力、前进方向和海拔高度等完整3D立体地理信息指示的能力，且不受GPS卫星信号消逝或变弱的影响。

此外，为了将MEMS传感器和多轴惯性模块的全部功能发挥到极致，ST还同时发布了iNEMO引擎传感器整合套件。Paolo Bendiscioli强调称，iNEMO引擎是“业界首款完整可定制的多轴MEMS传感器软硬件解决方案”，能够加强运动识别和前进方向精度识别功能。

基于卡尔曼滤波器(Kalman Filter)理论，iNEMO引擎采用一套自适应预测和滤波算法，能够识别由加速度计、陀螺仪、罗盘以及压力传感器组成的多个传感器的输入信息，并可自动修正传感器的测量失真、错误以及干扰，从而大幅提升用户体验以及感应精度、分辨率、稳定性和响应时间。几个月前，ST宣布与微软合作，以确保在基于Windows 8的平板电脑和计算机中可快速采用其MEMS传感器及相关技术。